台积电2nm工艺明年量产：耗资4000亿新台币购买EUV光刻机

C114讯 7月1日消息（南山）台积电高端工艺再度取得进展。据台媒报道，台积电2nm工艺将在2025年量产，设备制造商正在紧锣密鼓的交付中。

其中，最受瞩目的EUV光刻机，台积电今年和明年将接收超过60台，耗资约4000亿新台币（折合人民币约895亿元）。

在台积电等龙头的需求驱动下，ASML光刻机出货量2025年将增长30%。其中今年交付53台、明年交付72台。

此外，ASML计划明年生产20台最新款的High-NA EUV，英特尔为首批客户。

次一级的DUV光刻机，ASML2025年计划生产600台。

C114通信网 南山

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